703nm 重要的氟譜線

多數的電漿系統會用到CF4, SF6等氣體在鍍膜或是蝕刻的製程中，而氟的殘留物都是不允許的。EmiCon系統可以有效偵測出製程中與結束前的氟含量，利用703nm的氟譜線可以知道製程中的氟含量。方法簡易而有效。

使用內真空感測器可以隨意安置，取得最佳的製程監測方位。