如何應用OES tool與RGA tool

常有人問道: 對需要精準控制的電漿(等離子)製程(工藝)中，到底要使用OES還是RGA呢?
說明如下:

• RGA能看到環境的氣體成分比例與變化，但是無法看到實際參與電漿製程(等離子工藝)的物種與變化，OES卻可以。這是最大的差異。
• 其次，RGA的反應遲緩，OES可以快速反應。 因此，RGA對於製程(工藝)上出了狀況是很難追蹤與了解實際電漿製程(等離子工藝)的變化。只有使用OES才有機會知道製程(工藝)中真實發生的情形，進而可以找到解決之道。
• RGA可以當做OES的輔助，兩者相輔相成。

結論: OES掌握製程(工藝)的穩定性，RGA去處理整體環境的穩定性。